等離子清洗機/表面處理機/去膠機

簡要描述：PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶的靈活性。

產(chǎn)品型號：PLUTO-30型
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-10-17
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小型等離子清洗機

實驗室小型等離子清洗機定制型等離子清洗機

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品牌	PLUTOVAC

　　PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統(tǒng)

　　中小型 量產(chǎn)級 多功能

　　PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶的靈活性。

PLUTO-30型等離子清洗機/表面處理機/去膠機特征及優(yōu)勢

　　氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

　　不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

　　射頻系統(tǒng)提供的工藝重復性和處理效率

　　全自動處理能力

　　圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息

　　臺式設(shè)計需要較小的占地面積

　　典型應用

　　表面活化

　　提高表面能量以提高材料粘合性：預壓模粘合；預焊線粘合

　　增強表面膠體流動性：預成型；預倒裝芯片下溢

　　表面粗糙度和蝕刻

　　降低表面應力，改善表面粘結(jié)性

　　灰化和表面清潔

　　Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)

　　電介質(zhì)/III-IV材料

　　納米涂層（配備液體前體輸送裝置）

　　耐水納米涂層：印刷電路板表面處理

　　防腐納米涂層：醫(yī)療器械，醫(yī)療植入物

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